<1um!这所大学新开发可用于AR/VR硅基绿光Micro LED 环球热资讯
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行家说快讯:
近期,密歇根大学宣布在Micro LED制造工艺上取得突破,这项新的工艺意味着你可以在硅上加入尺寸不到1微米的绿色LED,号称可实现高性能和高稳定性。据悉,这项研究的目的是提升超高分辨率彩色微显示器的制造工艺,以开发出适合AR/VR眼镜的Micro LED技术。
AR/VR眼镜使用的MicroLED需要非常小巧、低功耗,且具有稳定性和高效性。另外,Micro LED单个像素尺寸小于1微米,制造工艺相当复杂,生产过程的缺陷率超过50%,而这将导致额外成本。而为了改善上述问题,科技行业已经投入了大量资金。
目前已经可以制造出高效、大面积的蓝色和红色LED,但制造出高效、大面积的绿色LED非常困难,将LED组件尺寸缩减到1微米也具有挑战性。而为了解决这一问题,密歇根大学教授Zetian Mi和他的团队开发了一种亚微米级的III-氮化物绿色Micro LED,其特点是使用了直径仅100到200纳米,间距仅几纳米的纳米线阵列。
由于氮化物材料和硅衬底之间晶格参数不匹配,会引起丝状位错,纳米线阵列的功能则是过滤这种丝状位错,在硅上可以制造稳定的绿色Micro LED。此外,这种绿色LED制造工艺很容易转化为蓝色,无需转移就可以将蓝色Micro LED集成在硅片上。
研究人员称,这种方法为设计高性能多色Micro LED的有源区域提供了一种新方法,还为片上光通信、增强现实/混合现实(AR/MR)和超高分辨率全彩显示器提供发展空间。此外,在低成本硅(Si)基板上的部署可以实现与主流CMOS电子器件的无缝集成。
研究人员还提到,这种Micro LED很容易拥有许多潜在的应用场景,随着发射波长扩展到红色以用于片上集成RGB显示器,设备平台将变得更加强大。
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