东方晶源8英寸关键尺寸量测装备正式交付客户

集微网消息，近日，东方晶源首台8英寸关键尺寸量测装备（CD-SEM）交付燕东微电子，标志着该公司去年6月首台12英寸CD-SEM出机后，在电子束量测领域再次取得重要进展。

据介绍，该型设备（SEpA-c300）基于东方晶源12英寸CD-SEM的技术积累，面向90nm以上技术节点成熟工艺，旨在破解8英寸晶圆代工厂该类设备短缺、二手设备性能指标及设备稳定性差等问题。

图片来源：东方晶源微信号

公开信息显示，东方晶源是国内电子束检测、量测设备领先厂商，曾承担国家02重大专项—电子束硅片图形缺陷检测设备研发与产业化项目并验收通过；首台套电子束缺陷检测设备（EBI）已完成产线验证并获得重复订单。东方晶源在电子束检测、量测领域已填补多项国内空白。目前该公司已经和国内大部分主要晶圆代工企业建立了合作关系。

（校对/乐川）

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