白光干涉仪有哪些功能？能做什么？

通过前两期文章，

相信大家已初步了解白光干涉仪原理和优势。

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那白光干涉仪能做什么？

今天小优博士带大家了解白光干涉仪的几个经典用途。

一、超精细粗糙度测量

（例1）玻璃镜片 0.05nm 粗糙度测量 · 优可测白光干涉仪 NA-500拍摄

二、台阶高度

（例2）掩模版台阶高度测量· 优可测 白光干涉仪 EX-230 拍摄

三、形貌观察&测量

（例3-1）菲涅尔膜形貌测量· 优可测 白光干涉仪 EX230 拍摄

（例3-2）金属表面研磨后形貌观察&测量 · 优可测 白光干涉仪 EX230 拍摄

四、不同条件下实验形貌比对&测量

（例4）化工材料不同浓度液滴后形貌分析· 优可测 白光干涉仪 ER230 拍摄

五、“快速扫描”特性可配合机械手、

集成自动化设备进行在线测量

关键词： 台阶高度 在线测量 金属表面