朱皖出席省科技重大专项中期评估会

4月19日上午，“功率器件用大产能硅外延设备研发”省科技重大专项中期评估汇报会在中国电子科技集团第四十八所举行，会议由省科技厅监督与诚信处、重大专项处组织，省科技厅副厅长朱皖出席。项目团队就项目实施进展情况进行了汇报，评估组专家现场察看了硅外延设备设计、制造、测试等情况，并进行了交流质询，指出了项目实施中存在不足和问题，提出了具体建议。

朱皖充分肯定了项目实施成效，中电四十八所为保障半导体产业链供应链安全稳定，利用雄厚的技术基础，突破大功率器件硅外延设备关键技术，实现进口替代。朱皖表示，中电四十八所要进一步提高政治站位，抓住机遇，迎难而上，研制具有自主知识产权的大产能硅外延设备，为实现国产硅外延设备产业化奠定坚实基础。

关键词： 项目实施 重大专项 省科技厅