氦气检漏仪的工作原理是什么？-深圳华尔升智控

今天，华尔升小编将为大家介绍氦气检漏仪的工作原理，让我们一起来看看吧~

氦气检漏仪主要有离子源、分析器、收集放大器、冷阴极电离真空计组成，离子源是气体电离，形成一束具有特定能量的离子。

分析器是一个均匀的磁场空间，不同离子的质荷比不同；在磁场中就会按照不同轨道半径运动而进行分离，再设计时只让氦离子飞出分析器的缝隙；打在收集器上。

收集放大器收集氦离子流并出入到电流放大器，通过测量离子流就可知漏率，冷阴极电离真空计指示质谱室的压力保护装置。

希望上述有关氦气检漏仪的工作原理可以帮助大家更好的了解氦气检漏仪，对此有需要的也欢迎评论区留言哦~

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