国内ALD设备“第一股”，毅达资本投资企业微导纳米成功登陆科创板:最新快讯

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2022年12月23日，国内原子层沉积技术领军企业——江苏微导纳米科技股份有限公司（股票简称：微导纳米，股票代码：688147）成功登陆科创板，成为国内ALD设备“第一股”。

微导纳米成立于2015年12月25日，公司以原子层沉积（ALD）技术为核心，专注于先进微米级、纳米级薄膜沉积设备的研发、生产与应用，业务涵盖集成电路、光伏、LED、MEMS等半导体相关领域，以及柔性电子领域。

公司核心团队深耕薄膜沉积技术三十余年，其ALD设备率先用于光伏电池片生产过程中的薄膜沉积环节，公司与通威太阳能、隆基股份、晶澳太阳能、阿特斯、天合光能等国内前十大太阳能电池片生产商，均建立了战略合作关系。

在此基础上，微导纳米继续深化开发对技术水平和工艺要求更高的半导体薄膜沉积设备，是国内首家成功将量产型High-k原子层沉积设备应用于28nm节点集成电路制造生产线的国产设备公司，其设备技术有效填补了国内空白、达到国际先进水平，是国家专精特新“小巨人”企业的杰出代表。

除了自身的硬核实力，微导纳米所处的行业具备广阔的发展蓝海。在光伏领域，为实现“双碳”目标，近年来光伏发电快速扩张，进而使得高性能光伏专用设备的市场规模呈持续增长态势；在半导体领域，市场对器件尺寸和材料提出了更高要求，部分核心工艺通过传统方式难以实现，薄膜沉积设备与光刻机、刻蚀设备并称为集成电路前道生产工艺中最关键的三类设备，而ALD技术作为高端薄膜沉积技术，将扮演愈发重要的角色。

此次成功上市，微导纳米募集资金主要用于核心技术ALD的扩产升级，该募投项目的实施，将有助于微导纳米提升科研实力，助力国内薄膜沉积设备与技术的发展，从而进一步实现行业高端装备的国产化替代，加快成长为世界一流的微纳制造装备领军企业。

毅达资本创始合伙人樊利平认为，与谁同行决定我们能走多远，有幸与最具活力的产业之星共同成长，是投资机构的荣幸。热烈祝贺微导纳米成功登陆科创板，毅达资本将与微导纳米一路同行。期待微导纳米以原子层沉积技术为核心，引领国产高端技术装备产业化，向世界级的微纳技术解决方案装备制造商迈进。

关键词： 薄膜沉积 集成电路